伯东真空设备在真空镀膜行业应用

上海伯东 Hakuto 真空设备在真空镀膜行业应用实例
PVD 真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术, 在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上. 真空镀膜有三种形式, 即蒸发镀膜, 溅射镀膜和离子镀. 目前市面上常见的进口 PVD 镀膜设备厂家主要有荷兰豪泽 Hauzer, 瑞士 Platit, 瑞士巴尔查斯 Balzers, 德国莱宝 Leybold, 日本光驰 Optorun 等.

根据镀膜对象常见的应用主要包含装饰镀膜, 刀具镀膜, 光学镀膜, 硅片镀膜等. 上海伯东 Hakuto 作为进口真空设备代理商, 代理的品牌德国 Pfeiffer, 美国 Polycold 冷冻机, 美国 KRI 离子源等广泛应用在真空镀膜行业. www.hakuto-vacuum.cn

上海伯东 Pfeiffer 分子泵镀膜行业应用：
由于目前对 PVD 镀膜设备的清洁度, 镀膜层的质量, 所用材料等要求的不断提高, 传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染等原因已经无法满足工艺要求. 因此以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为镀膜市场的主流, 上海伯东代理的德国 Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在分子泵领域一直处于主导地位并和国际, 国内镀膜涂层设备制造商长期合作.

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速高 90,000 rpm, 极限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时！Pfeiffer 分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 上海伯东 Hakuto 是德国 Pfeiffer 在国内的指定代理商, 全权负责 Pfeiffer 真空产品的销售和维修服务.

上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪镀膜行业应用：
镀膜机需要在高真空环境下工作, 真空度的好坏直接影响镀膜的品质. 有时候镀膜机的真空度抽不下来或者真空度不好, 可能是接头松动或者有焊缝出现虚焊. 传统的检漏方法需要镀膜机停机充氮气, 再在怀疑有漏的地方涂上肥皂泡, 整个过程耗时费力容易误判, 对于细微的泄漏无法检测. 上海伯东代理 Pfeiffer 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体, 小漏率小于 5E-13 Pa m3/s, 环保, 检漏时不需要停机, 直接在真空泵的旁路接入检漏仪便可以快速的完成检测了.


结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪,从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 上海伯东 Hakuto 是德国 Pfeiffer 在国内的指定代理商, 全权负责 Pfeiffer 真空产品的销售和维修服务.

上海伯东 Polycold 冷冻机真空镀膜行业应用:
真空镀膜机(溅镀,蒸镀)如果使用油扩散泵抽真空, 腔体内会残留大量水汽和油蒸汽, 不但影响抽真空的时间, 水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源, 从而影响镀膜产品的产量和质量. 真空镀膜设备通过加装上海伯东代理的美国 Polycold 冷冻机（水汽深冷泵）在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气, 真空抽气时间缩短 75%, 企业产能可增加 20% 到 100%, Polycold 冷冻机目前已广泛加装在日本光驰 Optorun. 日本新柯隆 Shincron, 德国莱宝 Leybold 真空镀膜机中

上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法. 与传统 LN2 冷却法对比, 冷媒可循环使用,更加降低了企业成本. 与高温烘烤方法对比, 高温烘烤只是把水分子从基片表面迁移, 使基片减少对水蒸气的吸附, 但是水蒸气还是存在于腔体内, 依然影响抽气效率。Polycold 冷冻机是将 90% 以上的水分子吸附在低温盘管（Cryocoil）的表面, 同时吸附掉真空腔内部分油分子, 如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱, 不仅能吸抽水汽还可以防止扩散泵返油. 上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区指定总代理,全权负责 Polycold 销售和售后维修服务.

上海伯东 KRI 离子源真空镀膜行业应用:
光学镀膜 optics coating 在真空镀膜中会出现膜层不均匀,或是产品膜层脱落等现象.上海伯东代理的美国原装进口 KRI 离子源在光学镀膜中主要起到了预清洁及辅助镀膜的作用,由于膜层表面很光滑,在镀膜时会产生膜层脱落现象,预清洁就是将膜层表面用大的离子如 Ar打击表面,使得制程物能有效的吸附在表面上.

1978 年 Dr.Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson,Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless, 美国考夫曼离子源历经 30 年改良及发展已取得多项专利. 广泛用于离子清洗.离子蚀刻, 辅助镀膜领域. 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理

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上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。

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