HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列
上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为苛刻的真空环境而设计. HVA 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列参数:
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 2 bar (任意位置) |
- 开启前大压力 | ≤ 1 bar |
烘烤温度（不含电磁阀）: | |
- 佛橡胶密封 | 150 °c, 可选配置大 250 °c |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
- 气体 | 80 psig (5.5 bar) |
- 电磁 | 4.0 Watts |
- 供电 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,大 | 115 VAC |
使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径: DN 50 - 200 mm | |
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图:
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