太阳能（光伏）扩散炉_青岛育豪微电子设备有限公司

◆工作温度： 300~1200℃
◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度： 920mm-1350mm（可根据用户要求定制）
◆温区精度 (静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃
300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
◆温度斜变能力：
大可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min
大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min
◆气体流量设定精度： ±0.5％FS
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自动送料装置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mm/min，SiC浆承重 20kg
◆装片数量 400片/管
◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）
◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min

太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式

◆闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。
◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的性。