三工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数:
★口径:Φ350mm ★工作方式:共用一套加热体,A、B、C管交替工作
★工作温度:300-1000℃ ★恒温区1000mm±3℃
★冷态真空度:5Χ10-4Pa ★真空系统:机械泵+K300扩散泵
★阀门:Φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热 ★功率:47KW
★真空计:复合数字表 ★充气种类:N2、氩气、H2
★控制系统全自动、手动