氧化镓(III),即三氧化二镓,是镓的氧化物中zui稳定的。在空气中加热金属镓使之氧化或在200-250℃时 焙烧硝酸镓、氢氧化镓以及某些镓的化合物都可形成Ga2O3. Ga2O3 有五种同分异构体:α,β,γ,δ,ε,其中zui稳定的是β-异构体,当加热至1000℃以上或水热条件(即湿法)加热至300℃以上时,所有其他的异构体都被转换为β-异构体。可采用各自不同的方法制得各种纯的异构体。