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微波等离子清洗机

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详细信息
品牌:戈德尔 规格:WB300 材质:金属
产地:山东招远 等离子发生器:频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节 外形尺寸:1000(W)×800(D)×1750(H)mm
仓体结构:Φ 245mm ×400Lmm 控制系统:触摸电脑+PLC全自动控制 真空系统:真空压力PID闭环自动控制
充气系统:2路气体配制

WB300微波等离子清洗机采用高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子高度活性、,且不会对电子装置产生离子损害微波等离子清洗机具有高度活性、,且不会对电子装置产生离子损害。 

微波等离子清洗机主要用途:
·等离子体表面改性
·有机物表面等离子体清洁
·邦定强度增强
·等离子体刻蚀应用
·等离子体灰化应用
·增强或减弱浸润性
·其它等离子体系统应用
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华斡旋式干泵 GV40
◆ 充气系统
美国MKS电子质量流量计(2路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件

联系方式
  • 联系人: 杨万伟 先生
  • 职位: 销售经理
  • 真: 00-传真号码
  • 电话: 0535-8236617
  • 手机: 13573547231
  • 址: 山东省 烟台市 招远市开发区招金路518号
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