蓝宝石基片CMP浆料
蓝宝石基片CMP浆料是本公司所生产的高纯度抛光浆料,具有粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用等特点, 用于蓝宝石基片进行软抛加工,能够实现晶片移除率高,表面平整度高、粗糙度低,表面无麻点、腐蚀坑等微缺陷,多项参数达到国际先进水平。
主要用于2、4、6英寸等蓝宝石衬底片的高质量平整化精加工工艺。
【产品参数】 检测项目产品型号UPNM/SPS-LJ-1601UPNM/SPS-LJ-1602外观乳白色液体乳白色液体固含量(%)40±140±1pH值(25℃)>9>9粒径(nm)100-120100-120粘度(25℃,cP)<5<5密度(25℃,g/mL)1.27-1.311.27-1.31氧化钠(%)<0.3<0.4 |
注意事项
1、抛光浆料使用过程中尽量避免直接暴露,防止污染物进入浆料中造成划伤。
2、冬季气温较低(<5℃)时,浆料不可放置室外,需存放在恒温仓库,一旦发生凝胶将不可使用。
3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具,避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶,引起晶片表面划伤。
4、浆料循环使用时,需要在管口添加过滤装置,以免发生凝胶而又反复应用造成晶片表面划伤。
运输及保存
1、运输与存放温度为5-40℃,25℃为佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。
2、保质期一年,建议半年内使用。
3、避免金属、颗粒污染,避免强电解质的接触。
包装规格
25kg/桶,可根据客户要求提供包装。
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