FEI Magellan™400 SEM系列扫描电镜

全新的 Magellan™ 400 SEM 是可在1-30 kV 电子能量范围内提供亚纳米级分辨率的扫描电镜，有效建立被称为 XHR 扫描电镜的全新性能类别。的低加速电压性能可提供其他技术根本无法实现的分辨率表面特定信息。
在半导体和数据存储市场，Magellan 前所未有的性能可大幅扩展 SEM 的功能，提供基础研究、流程和材料开发、流程控制以及故障分析所需的解决方案。它可实现快速高衬度成像，并具备大样品或多样品的亚纳米级分辨率成像和分析能力，包括横截面。Magellan 400 具备业界的性能，但不削弱传统SEM 的高生产量、样品灵活性和易用性特征。
在科学和工业研究开发领域，Magellan 具备形成高分辨率纳米级表面细节、颗粒和材料界面图像的的能力，开启全新的研究领域，享受大量取得下一项突破性发现的机会。它能使研究人员观察到催化剂颗粒、纳米管、生物体和其他纳米结构的基本属性，而这些是他们以往利用任何其他显微镜或成像技术从未观察到并且无法观察到的。
Magellan 400 的性能源自其融合了 FEI 新颖 UC 专利技术的的电子镜筒设计，以及高度稳定的平台设计和先进的 五 轴100mm 压电陶瓷样品台。整合式等离子清洁器和液氮冷阱可确保样品清洁。Magellan 400 具备的低能量性能，同时也具有更高能量条件下的高分辨率 STEM 成像性能，以及包括 EDS和 EBSD 分析在内的分析能力。