品牌:ASML | 产地:荷兰 |
ASML 4022 436 44591
ASML 4022 436 44591:光刻技术的之作在现代半导体制造领域,光刻技术是芯片制造的核心环节。ASML作为的光刻设备供应商,其产品一直备受瞩目。ASML 4022 436 44591作为ASML公司的一款重要设备,以下是其详细参数介绍。基本信息型号:ASML 4022 436 44591类型:浸没式光刻机用途:用于先进集成电路制造,能够实现高分辨率图案转移技术规格光源:类型:极紫外光(EUV)波长:13.5纳米(nm)分辨率:小线宽:7纳米(nm)套刻精度:小于2纳米(nm)曝光方式:扫描方式:步进扫描曝光场尺寸:26毫米(mm)×33毫米(mm)生产效率:每小时晶圆处理量:大于200片综合产出率:超过每小时250片晶圆对准系统:对准精度:优于0.5纳米(nm)多重曝光能力:支持掩模版尺寸:6英寸(152毫米(mm))×6英寸(152毫米(mm))物理特性尺寸:长×宽×高约为10米×5米×4米重量:约180吨工作环境:温度:20±0.1摄氏度湿度:40%±5%相对湿度洁净度:ISO 1级洁净室电气与控制系统电源要求:三相380伏特(V),50赫兹(Hz)功率消耗:约1兆瓦(MW)控制系统:操作系统:基于Linux的定制系统用户界面:图形化用户界面,支持远程控制其他特性自动化程度:高度自动化,支持智能维护与诊断兼容性:兼容多种晶圆材料和工艺要求升级能力:支持硬件和软件升级,以适应未来技术发展需求应用领域ASML 4022 436 44591广泛应用于逻辑芯片、存储芯片及计算芯片的制造。其高分辨率和高生产效率使其成为先进半导体制造不可或缺的设备。客户支持ASML提供的客户支持,包括设备安装、调试、培训及售后服务。专业的技术支持团队确保设备能够持续稳定运行,为客户创造大价值。结语ASML 4022 436 44591以其的技术参数和可靠性,成为半导体制造商的设备。其不断的技术创新和升级能力,确保了设备能够持续满足未来芯片制造的需求,为推动半导体产业发展发挥着重要作用。
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