533-685

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533-685调整运行参数。在进行功能测试后，需要根据电气控制系统的参数要求，对接触器式继电器的参数进行调整。例如调整接触器的操作时间、延时时间、动作方式等，以保证电气控制系统的稳定性和性能。

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Semitool Wet Solvent Stripper WST308A，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3203LMC-K1，

Coherent Photocoagulation Laser Novus Omni untested厦门，

Edwards FSI 1000 1000A-3，

ETO 80-S03 RF Generator Rack 0190-40009，

TEL ACT 8 Chilling Hot Plate Process Station 锐，

TEL ACT 12 WEE Lamp House CT2985-411701-W3 ，

TEL ACT 12 Interface Block Robotics Arm 200mm锐，

Yaskawa VS2B Robot SRC-II 005，

Yaskawa Transfer Robot Track Rail XU-ACL4722，

SMC Thermo-Con INR-244-211T-24，

Yaskawa TEL Unity 2 VS2B，

Ebara A30W ，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3403LMC ，

SVG Procell Electronics Cabinet，

CTI-Cryogenics High Capacity Compressor 0190-27351厦门，

Tokyo Electron ACT 12 ，

Edwards DZR-4800 ，

ENI Spectrum B-5002  0920-00062，

AMAT Quantum Heat Exchanger 0240-61428，

Kawasaki Transfer Robot 3NS410B-A004 0190-10300，

AE Pinnacle  3152412-245  0190-24674，

Yaskawa Transfer Robot Track XU-ACL3701，

Yaskawa Transfer Robot 300262-2004 0190-15078锐，

LAM Research LBPM AC Distribution Unit 1B02735G01厦门，

ENI Spectrum 5kW RF Generator B-5002  0190-27361，

Lam 4420  853-024403-100，

Ecosys Novapure S447D C5-YY0-B5-D5-NN，

AMAT IECP Main AC Cabinet 0190-01661，

ENI Spectrum B-5002  0190-15320，

TEL ACT 12 Adhesion Process Station 12"，

Materials Research  A119124，

MRC Eclipse  A120946，

Hamamatsu LC5，

Brooks Genus Left Vacuum Load Lock 001-9200-54锐，

TEL ACT 12 WEE X-Theta，

Thermo Electron Neslab DI Max DEI Water to Water Cooler，

Yaskawa Dual Arm Transfer Robot XU-RCM7221，

Yaskawa Transfer Robot Linear Track XU-ACL4141锐，

TEL Tokyo Electron Fujikin Gas/Steam，

Edwards iQDP80 Dry Vacuum Pump AMAT 3620-01386锐，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3203LMEC-K1，

AE Pinnacle  3152412-219B 0190-19198，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3203LMC-K1，

Brooks Genus  001-4700-12，

Mitsubishi Sinchoon Turbopump FT-2300M-W1K1，

AE Ovation  3150861-002D 0190-27049，

AE Navigator 3155169-009C 0190-23122，

EDWARDS Dry Vacuum Pump iQDP80 QMB500，

AE Navigator RF Match 3155169-001 0190-16177，