国内某12’晶圆厂的FMCS系统,一期施工面积:FAB施工面积的13万多平方米,洁净度要求10级不等
系统范围:
净化空调系统;
普通空调系统; 给排水系统; 蒸汽/热水系统; 冷冻水系统;
冷却水系统 气体系统; 化学品系统; 纯水(UPW)系统; 废水(WWT)系统
设计要求:
为确保自控系统的稳定性、维护性设计上采用了:
•硬件与网络要求双机热备;
•所有I/O支持热插拔、模拟量I/O具有隔离功能;
•电机采用变频器控制,当变频器故障时能通过旁路启动; • UPS电源等措施。
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