镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220_伯东贸易（深圳）有限公司

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的检测限
对测量结果的小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 检测极限
对测量结果的小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：

SPM 系统控制	BRU 220
电压	115-230 V
前级泵	MVP 020-3
四极控制	QME 220
带 SPM 离子源的分析仪	QMA 220
探测器	C-SEM/Faraday
杆系统：材料	不锈钢
杆系统：直径	6 mm
杆系统：长度	100 mm
检测极限（氩中）：二氧化碳	< 100 ppb
检测极限（氩中）：氧气	< 100 ppb
检测极限（氩中）：氮	< 100 ppb
检测极限（氩中）：水	< 3000 ppb
检测极限（氩中）：水蒸气	< 500 ppb or < 6000 ppb
涡轮分子泵	带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
质量数	1-100 amu or 1-200 amu
过程压力至	1 hPa or 10 hPa or 8hPa
连接法兰（入口）	DN 40 CF-F
重量	13 kg

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
www.hakuto-china.cn                       www.hakuto-vacuum.com.tw