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残余气体分析仪 PrismaPro

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详细信息

残余气体分析仪 PrismaPro

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 低可检测分压 3 X10-15 hPa.

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
气密离子源型号可选, 适合与进气系统组合使用, 具有低气体消耗和高信噪比的特点.
 

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:

型号

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四极杆直径/长度

6 / 125 mm

小检测极限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

小检测极限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

对Ar的灵敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

大工作压力 F hPa

5X10-4

大工作压力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

对临近质量数的影响*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作温度 电子

5 – 50 °C

烘烤温度 分析

300 °C (移除电子模块)

连接法兰

DN 40 CF-F

保压时间

1 ms – 16 s/amu

重量

2.5 kg

3.2 kg

1  开放式离子源
2  停留时间 4秒
*3   与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:
pfeiffer PrismaPro


Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:
PrismaPro 残余气体分析仪


若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322                            F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
www.hakuto-china.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw


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