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砷化镓VGF法单晶炉

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详细信息

产品应用：主要用于2～6英寸锗单晶、砷化镓等化合物晶体的生长

产品特点：
◆工业计算机控制系统（WINDOWS 系统界面，操作方便简洁）
◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性
◆控温精度高，温区控温稳定性好
◆具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种保护功能
◆晶体生长均匀性好、重复性高
主要技术指标
◆工作温度：600～1280℃
◆适应晶体尺寸：2～6英寸
◆装料量：10Kg/炉
◆加热控制：7段控制
◆温区长度：800mm±0.5℃（1000～1280℃）
◆大升温速率：15℃/min
◆升降行程：900mm
◆小升降速率（VB）：0.1mm/h
   配套设备：合成炉、铸锭炉、脱氧封管炉等

联系方式
青岛育豪微电子设备有限公司
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  • 联系人： 陈庆建 先生
  • 职位： 销售部经理
  • 传 真： 00-传真号码
  • 电话： 0532-87671566
  • 手机： 13864877323
  • 地 址： 山东省 青岛市 山东 青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号
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