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1200-01514 AMAT
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美国运用资料(AMAT)发布了可从硅锭上切出120μm厚太阳能电池用晶圆的线锯设备“Applied HCT MaxEdge”。AMAT表明,运用该设备可削减每枚晶圆的硅用量等,所以可将多晶硅型太阳能电池单元的制作本钱下降约0.18美元/W(假定多晶硅的价格为55美元/kg时)。
Applied HCT MaxEdge可在不下降产量的情况下切开出较薄的晶圆。切开负荷比该公司原设备“Applied HCT B5”可增大45%。两设备均采用以两根金属线切开的办法。但新产品具有可操控金属线张力的功用,切开较薄的晶圆时可运用更细的金属线。
运用本来的金属线时,要制作较薄的晶圆,有必要操控施加硅铸锭上的负荷和切开速度。因而,难以统筹高产和晶圆的薄型化。
太阳能电池单元厂商通过减薄晶圆,削减了每枚晶圆的硅用量,然后下降制作本钱。但因变薄了的晶圆易碎裂,因而在切出晶圆后的制作工序中存在无法保证高成品率的问题。
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