FS4003微型流量传感器，FS4008质量流量计_广州铭鸿自动化仪表有限公司

FS4000是广州迪川仪器仪表有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）

FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；可用于设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
    - 零点稳定度高
    - 全量程高稳定性、高度和优良的重复性
    - 低功耗、低压损
    - 响应速度快
机械尺寸:

产品特点:

性能参数	FS4003	FS4008	单位
通径	3	8	mm
大流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重复性	0.75		%
零点输出飘移	±30		mV
输出飘移	0.12		%/^oC
响应时间	100		ms
工作电源	8~18Vdc,100mA
输出方式	线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
大流量压损	100	600	pa
大工作压力	0.5		MPa
工作温度	-10 ~ +55		^oC
存储温度	-20 ~ +65		^oC
工作湿度	<95%rh<>（无结冰、无凝露）<95%rh<>
机械接口	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式	空气（或其他气体），20^oC，101.325kPa
重量	57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)		g