技术参数表

技术参数表-1（小量程）

MSE-TS800系列	x/10	x/30	x/40	x/100	x/250	x/500	x/600
基础安装距离mm	230	300	330	500	230	300,1000	230
测量范围mm	10	30	40	100	250	500	600
线性精度0.1%	10um	30um	40um	0.1mm	0.25mm	0.5mm	0.6mm
分辨率0.01%	1um	3um	4um	10um	25um	50um	60um
温漂	0.02% /°C
测量频率	大9400Hz
激光器类型	660nm，红色半导体激光或者405nm UV蓝色激光
激光器功率/等级	≤4.8mW; 3R(IEC60825-1)
数字量输出	RS232 (大460.8 kbps); RS485(大921.6 kbps) RS232+CAN V2.0B (大1Mbps); RS232(RS485)+以太网
模拟量输出	4-20mA ( ≤500欧姆负载 )，或者 0-10V
同步触发输入	2.4 ~ 5 VDC（CMOS, TTL）
逻辑输出	可编程，NPN, 大100mA, 大40V
供电，功率	10 ~ 32 VDC, 1.5 ~ 2 W
防护等级	IP67 （对于带插头的传感器）
震动	20g/10-1000Hz，6个小时，在XYZ每个坐标轴上
冲击	30g/6ms
工作温度	-10 - +60°C (-30- +60°C带内部加热功能)
存储温度	-20 - 70°C
环境照度	30,000
湿度	5-95%（无凝结）
外壳	铸铝
重量（不带电缆）	500g

说明：安装距离，是从激光位移传感器到测量范围起点之间的距离。（参见原理图）

技术参数表-2（大量程）

MSE-TS800系列	x/1000	x/1000	x/1500	x/2000	x/2500
基础安装距离mm	1300	380	390	410	420
测量范围mm	1000	1000	1500	2000	2500
线性精度	±0.1%		±0.2%
分辨率	0.01%		0.03%
温漂	0.02% /°C
测量频率	9400Hz
激光器类型	660nm，红色半导体激光或者405nm UV蓝色激光
激光器功率	≤4.8mW;			≤20mW
激光器等级	3R (IEC60825-1)			3B (IEC60825-1)
数字量输出	RS232 (大460.8 kbps); RS485(大921.6 kbps) RS232+CAN V2.0B (大1Mbps); RS232(RS485)+以太网
模拟量输出	4-20mA ( ≤500欧姆负载 )，或者 0-10V
同步触发输入	2.4 ~ 5 VDC（CMOS, TTL）
逻辑输出	可编程，NPN, 大100mA, 大40V
供电	10 ~ 32 VDC, 1.5 ~ 2 W
防护等级	IP67 （对于带插头的传感器）
震动	20g/10-1000Hz，6个小时，在XYZ每个坐标轴上
冲击	30g/6ms
工作温度	-10 - +60°C (-30- +60°C带内部加热功能)
存储温度	-20 - 70°C
环境照度	30,000
湿度	5-95%（无凝结）
外壳	铸铝
重量（不带电缆）	500g

激光位移传感器轨道平整度的检测