昆山自动抛光机配置伺服系统

昆山自动抛光机配置伺服系统

抛光机伺服加载系统控制

在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行控制,从而保证抛光质量。为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀。同时对气动伺服加载系统进行数学建和模块化分析,后进行了实验研究。表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片。

双面抛光机伺服加载系统

在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行控制,从而保证抛光质量。为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀。同时对气动伺服加载系统进行数学建和模块化分析,后进行了实验研究。表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片。

精密双面抛光机的结构

一种精密双面抛光机，包括机架、主轴传动机构、上抛光盘传动机构，主轴传动机构连接下抛光盘、内齿圈、外齿圈以及与上抛光盘配合的连接件，内齿圈与外齿圈之间啮合用于放置工件的行星轮，上抛光盘传动机构位于主轴传动机构的上方，上抛光盘传动机构包括安装在机架上的驱动装置，驱动装置带有活塞杆，活塞杆与上抛光盘连接，采用四个变频电机拖动上下抛盘、内齿圈、外齿圈的四动抛光原理来进行传动系统的设计，且采用轴套结构使四轴同心；驱动装置连接用于调节加载压力大小的压力调节阀，在活塞杆与上抛光盘的连接处安装压力传感器，能够控制上抛光盘的压力。本发明结构紧凑、可实现无级调速、加工过程平稳性佳、可有效提升抛光效率

精密双面抛光机的控制系统

一种精密双面抛光机的控制系统，包括抛光机精密控制器、与驱动上抛光盘转动的第一变频电机连接的第一变频 器、与驱动太阳轮转动的第二变频电机连接的第二变频器、与驱动下抛光盘转动的第三变频电机连接的第三变频器、与驱动外齿圈转动的第四变频器、安装在各个变 频电机的主轴上的转速传感器，以及调节驱动压力大小的压力调节阀和安装在气缸的活塞杆与上抛光盘之间的压力传感器。所述的抛光机精密控制器包括电机转速调 节模块、电机转速控制模块、上抛光盘压力控制模块。本发明可实现无级调速、调节上抛光盘的压力、加工过程平稳性佳、可有效提升抛光效率。

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