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扩散炉--管式扩散炉

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详细信息
产地:qdchenlidianzi

一、管式扩散炉用途
管式扩散炉是我公司根据客户需求个性化定制的高温热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件,仿国外热处理制造技术,已经被中科院、国内各大院校、国内多家厂家选为长期供货商,团队设计制造,可根据客户不同需求定制,厂家直接供货,质优价廉。
 

二、管式扩散炉特点  

软着陆载片装置

软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性,同时桨的清洗周期大幅度延长。

温度控制

新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。

进口元器件组合

关键件采用进口管件,且为半导体级别;的元器件组合,从而保证成膜质量。
         

三、管式扩散炉主要技术参数                             

工艺管数量:1-4

工艺管口径:Φ90-360mm312英寸)

工作温度范围:4001280

恒温区长度及精度±0.5/1080mm

工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)

气体流量设定精度:±1F.S

气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

超净工作台:净化等级:100级(万级厂房) 噪音:≤62dBA 震动:≤3μm

控制方式: 工业微机控制

记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制


我公司可根据客户要求,定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD


炉、加热电炉及加热装置等,欢迎广大客户来电咨询。


联系方式
  • 联系人: 姜经理 先生
  • 职位: 销售经理
  • 真: 0532-88533525
  • 电话: 0532-88533525
  • 手机: 13954285618
  • 址: 山东省 青岛市 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
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