晨立定制太阳能卧式扩散炉

产品特点：
◆闭管式扩散系统，有效降低生产成本，更洁净、更环保
◆石英舟采用软着陆送片，高可靠性
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制
◆采用悬臂送片器，操作方便、无摩擦污染等
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种保护功能
◆控温精度高，温区控温稳定性好
◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命
主要技术指标
◆工作温度：400～1100℃
◆有效口径：适应石英管外径Ф320mm
◆装片数量：400片/管
◆工艺管数量：1～4管（可选择）
◆恒温区长度： 1100mm（可根据用户要求定制）
◆恒温区精度：≤±1℃（600～1100℃）
◆单点温度稳定性：≤±1℃/24h（600～1100℃）
◆温度斜变能力： 大可控升温速度：15℃/min(300～1300℃)
                大降温速度： 5℃/min (1300～900℃)
◆实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度
◆送片方式：采用悬臂送片器，进退舟速度5mm/min～1000mm/min连续可调
◆净化台洁净度：100级