IC697CPM925

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1、现在国内的射频电源采用的

都是电子管或电子管、晶体管混

合电路，体积较天，在一些要考

虑体积的地方，限制了它的应用

。因而需要采用新技术、新元器

件，使射频电源固态化，小型化

。

2、阻抗匹配网络是正确使用好

射频电源的重要部件。在国外，

阻抗自动匹配网络已产品化，除

了部分溅射、淀积设备照旧使用

外，其它等离子体设备，尤其是

RIE都已配备上自动的阻抗匹配

网络，从而使设备更趋于完善。

在国内这方面还是手动的，虽然

在一般情况下可以满足工艺要求

，但操作时不能离人，稍不注意

仍会匹配不好。用自动取代手动

匹配也是当务之急的工作。

3、开扩射频电源的应用领域，

研制多性能、多品种的射频电源

，如宽频带电源、微波电源等。

为电源的发展开创新的道路。

4、为了较快地赶上国际水平，

引进国外的先进技术，根据我国

的实际情况，对电源进行改造、

更新是发展电源的快途径。

013年，中国购买了五分之

一的机器人，首度超越日本。根

据国际机器人联盟(IFR)的新

数据，中国去年购买了36560个

工业机器人，同比增长60%。日

本去年购买了26015个机器人，

美国位居第三，购买了23679个

机器人。2008年至2013年，中国

机器人购买量年均增长36%。

随着人力成本上升、与其他新兴

经济体的竞争加剧，中国制造商

转向以技术提高生产率。曾被称

为“车间”的中国，已变为

大的工业机器人买家。

2013年，中国购买了五分之

一的机器人，首度超越日本。根

据国际机器人联盟(IFR)的新

数据，中国去年购买了36560个

工业机器人，同比增长60%。日

本去年购买了26015个机器人，

美国位居第三，购买了23679个

机器人。2008年至2013年，中国

机器人购买量年均增长36%。

关税制度也是影响价格的一个原

因，“现在机器人进口都是免税

的，国内机器人厂商买的核心部

件却要收税，这也是造成价格高

的一个原因。”李伟说，在国内

机器人才开始出现爆发性增长的

时候，一场关于机器人本体的价

格战就已经开始了。

在资本市场上，更多的人看好国

内机器人系统集成方向。国外

好的机器人厂商都是在做集成，

自动化集成是中国有优势的行

业。中国机器人市场的潜在增长

更为客观：2012年，中国雇佣制

造业工厂中每10000人里有23个

机器人，远低于韩国的396个。

从投入使用的数量上看，中国也

远远不及发达国家。日本2012年

超过31万个工业机器人投入使用

，数量第一，当年美国投入

使用的机器人数量是16.8万个，

中国只有9.6万个。

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