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工业自动化技术是一种运用控制理论、仪器仪表、计算机和其他信息技术，对工业生产过程实现检测、控制、优化、调度、管理和决策，达到增加产量、提高质量、降低消耗、确保等目的综合性高技术，自动化系统本身并不直接创造效益，但它对企业生产过程起着明显的提升作用：

（1）提高生产过程的性；

（2）提高生产效率；

（3）提高产品质量；

（4）减少生产过程的原材料、能源损耗。

众所周知，工业机器人是大量自动化生产线重要重成部分。随着中国制造在人力成本及产业转型等重压之下加速自动化升级步伐，对工业机器人产品的需求，正在快速上涨之中。现阶段我国已是工业机器人第二大需求市场，预计在未来几年将超过日本，成为大需求市场。

工业机器人产业本身属于装备制造业，其自身成长就能推动装备制造业发展。因此，工业机器人的广泛应用将创造出市场需求，进而带动自身产业的成长，推动制造业朝着数字化、智能化的方向升级。中国特定的产业结构将产生与之相适应的工业机器人需求结构，为本土工业机器人产业发展创造市场机遇。

在不久的未来，传统的制造企业通过机器换人向“智慧工厂”转型。同时拓斯达作为系统集成商的技术对自动化制造业的影响很大，集成了诸多先进技术，它的发展有助于带动多项基础技术的突破和系统集成能力的提升，是智慧工厂重要的环节部分。

如今工业机器人作为智能制造装备的重要组成部分，已经迎来了其战略性的发展契机。各地机器人产业园如雨后春笋，与此同时，国际、国内机器人企业加速上马上线。在机器人产业红火的同时，如何规范发展、和谐发展，如何顺应应用发展趋势研发、提升技术含量越来越成为机器人发展面临的新课题。目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源基本一致，但在自动化程度上，体积上以及应用领域方面还有的差距。

目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源基本一致，但在自动化程度上，体积上以及应用领域方面还有的差距。因此，要跟上国际水平，还要开展以下一些工作。

1、现在国内的射频电源采用的都是电子管或电子管、晶体管混合电路，体积较天，在一些要考虑体积的地方，限制了它的应用。因而需要采用新技术、新元器件，使射频电源固态化，小型化。

2、阻抗匹配网络是正确使用好射频电源的重要部件。在国外，阻抗自动匹配网络已产品化，除了部分溅射、淀积设备照旧使用外，其它等离子体设备，尤其是RIE都已配备上自动的阻抗匹配网络，从而使设备更趋于完善。在国内这方面还是手动的，虽然在一般情况下可以满足工艺要求，但操作时不能离人，稍不注意仍会匹配不好。用自动取代手动匹配也是当务之急的工作。

3、开扩射频电源的应用领域，研制多性能、多品种的射频电源，如宽频带电源、微波电源等。为电源的发展开创新的道路。

4、为了较快地赶上国际水平，引进国外的先进技术，根据我国的实际情况，对电源进行改造、更新是发展电源的快途径。013年，中国购买了五分之一的机器人，首度超越日本。根据国际机器人联盟(IFR)的新数据，中国去年购买了36560个工业机器人，同比增长60%。日本去年购买了26015个机器人，美国位居第三，购买了23679个机器人。2008年至2013年，中国机器人购买量年均增长36%。

随着人力成本上升、与其他新兴经济体的竞争加剧，中国制造商转向以技术提高生产率。曾被称为“车间”的中国，已变为大的工业机器人买家。

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